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  • 准分子激光器: CL 5000
准分子激光器: CL 5000

准分子激光器: CL 5000

  • 准分子激光器: CL 5000 准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

产品详情

准分子激光器: CL 5000


       准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。


CL  5000系列技术参数:


激光介质

ArF

KrF

XeCl

波长  (nm)

193

248

308

最大脉冲能量  (mJ)

20

40

25

最大重复频频率(Hz)

CL  5100
CL 5200
CL 5300

100
200
300

最大平均功率  (W)

CL  5100
CL 5200
CL 5300

2
4
5

4
8
10

2.5
5
7

脉冲能量稳定度(sigma,  %)

 <  2

光斑尺寸  (VхH, mm)

12  х  3.5

12  х  4

光束发散角(FWHM,  mrad, VхH)

2  х  1

脉冲持续时间  (FWHM, ns)

8  –  12

冷却方式

CL  5100

风冷

CL  5200/5300

水冷

重量  (kg)

80

尺寸  (LхWхH, mm)

780  х  330 х 583

电源

220  V, 50 Hz, <  1000 VA

        

可选功能和附件:


1000Kz型号可选

窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1

F2,157nm型号可选


CL  5000系列主要特点:


陶瓷放电激光腔设计,长寿命

激光腔,电子系统一体化设计
功率稳定运行模式

预混合供气,使用简单

计算机控制