韩国COXEM EM-30 Plus超高分辨率台式(桌面式)扫描电镜
品牌: COXEM | 名称型号:EM-30 PLUS |
制造商: 韩国COXEM公司 |
产品简介:
EM-30 Plus超高分辨率台式(桌面式)扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性,利用创新的双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像方式,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而,可以获得更高的分辨率(<5nm),是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。EM-30 Plus台式电镜配置SE+BSE探测器,可实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析,同时,也可选配EDS探测器(能谱仪),快速实现对材料微区化学成分进行定性及定量分析。
COXEM(库赛姆)EM-30 Plus产品技术亮点:
l 超高分辨率(5.0nm @30kV SE);
l 更大的放大倍数x 150,000;
l 更加简单易用的导航模式,更加快速的操作模式;
l 同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集;
l 更加先进的低真空模式;
l 全新升级的分析软件,舒适通用;
l 从1kV-30kV同标准电镜相同的全加速电压量程;
技术指标:
放大倍数 | x20 ~ x150,000 |
加速电压 | 1~30kV |
电子枪 | 钨灯丝 |
探测器 | 标配二次电子像(升级)、背散射电子像(可伸缩),可选配能谱仪 |
样品台: | X: 35mm (马达驱动), Y: 35mm (马达驱动), T: 0- 45°(马达驱动), R: 360°,Z: 5-50mm |
样品座 | 通用7个样品桩的样品台 通用25mm的样品台 通用倾斜 通用截面台 |
试样尺寸 | 45mm(高),60mm (直径) |
图像模式 (像素) | Focus聚焦(160 x120 pixel) RED选区(320x240), TV(640x480) Slow(800x600) Photo(1280x960,2560x1920,5120.x3840) |
真空系统 | 涡轮分子泵(小于3分钟) |
软件 | 全新的NanoStation 3.0TM |
自动功能 | 聚焦、灯丝、亮度、对比度 |
特殊功能 | 导航模式 驾驶模式(通过控制杆操作) SE+BSE混合像,分屏同时显示SE,BSE像 组成、形貌 线轮廓 |
操作系统 | Windows 7 |
操作方式 | 控制杆,鼠标,键盘 |
外形尺寸 | 400×600×500,90kg |