激光开封技术也可以在不破坏芯片或者电路的整体功能的前提下,去除局部的塑封材料,进行测试甚至修复实验。与化学开封技术相比,激光开封更加高效,同时避免了减少强酸环境暴露。
基本原理:
封外壳,从而光学观测或者电气性能测试提供了可能性,以便于实现X射线等无损检测无法实现的功能。
激光开封技术也可以在不破坏芯片或者电路的整体功能的前提下,去除局部的塑封材料,进行测试甚至修复实验。与化学开封技术相比,激光开封更加高效,同时避免了减少强酸环境暴露。
应用领域:
去除半导体芯片的塑封外壳,PCB板截面切割,以及其它类似的破坏性物理试验或失效分析场景。
产品优势:
来自德国的高精密激光扫描头(SCANLAB)
激光脉冲宽度可调(1ns-250ns)
激光系统与CCD视觉系统同轴共焦,实时观测激光扫描过程
可直接导入X-Ray或者超声波扫描图像,为复杂定点开封提供支持
强大的软件功能,保证了定位、区域标定、聚焦、参数设定、条码绘制等功能得以简洁可靠地实现
高性能烟尘过滤系统,自动震动防堵,可过滤98%以上0.3um直径的环氧树脂颗粒
技术参数: | |||
型号 | GLOBAL ETCH II ML-20 | 最大扫描范围 | 110mm x 110mm |
激光类型 | 风冷式光纤激光器 | 实时操作模式 | 同轴和共焦 |
激光波长 | 1064nm | 样品尺寸 | 0.5mm - 70mm |
功率 | 20W | 激光寿命 | ≥ 80000小时 |
输出功率范围 | 1% ~ 100% | 设备安全等级 | Class I (互锁) |
脉冲宽度 | 1ns-250ns | 烟尘过滤器 | 1.8kPa,0.3μ的颗粒 |
光束质量 | M2 ≤ 1.3 | 设备尺寸 | 700 x 1000 x 1700mm |
单次开封深度 | 0.01mm~2mm | 压缩气体 | 大于0.3MPa(同时吹吸,油水分离) |
开封速度 | ≥ 8000mm/s | 相机 | 1500万像素彩色照相机 |
激光频率 | 1Khz-2000Khz | 重量 | 150KG |