日本Microphase 原子层沉积系统
日本Microphase 原位薄膜应力测量仪
日本Microphase 表面等离子体共振分析仪SPR
日本Microphas磁控溅射系统
日本Microphase 薄膜热应力测试系统Thermal Scan
日本Microphase 光谱响应测试系统/IPCE测试系统/QE量子效测量系统
日本Microphase 电子束蒸发系统 EBES
NTE-4000 (M) 热蒸发系统
NPE-3500 PECVD等离子体化学气相沉积系统
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电子束蒸发镀膜机 (E-beam Evaporator)
徕卡 EM ACE600 高真空镀膜机
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