准分子激光器：CL 7700
准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
CL
7700技术参数：
激光介质 | ArF | KrF |
波长 (nm) | 193 | 248 |
最大脉冲能量 (mJ) | 400 | 750 |
最大重复频率 (Hz) | ||
СL 7720 | 20 | |
CL 7750 | 50 | |
最大平均功率 (W) | ||
СL 7720 | 7 | 15 |
CL 7750 | 14 | 35 |
脉冲能量稳定度(sigma, %) | < 2 | |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 28 х 10 | |
光束发散角(FWHM, mrad, VхH) | 4.5 х 2 | |
脉冲持续时间 (FWHM, ns) | 20 | 25 |
冷却方式 | 水冷 | |
重量 (kg) | 190 | |
尺寸 (LхWхH, mm) | 1430 х 380 х 760 | |
电源 | 220/380 V, 50 Hz, < 3500 VA | |
CL
7700主要特点：
高脉冲能量
闸流管开关
功率稳定运行模式
内置的能量检测器
预混料气体，使用简单
计算机控制
应用：
材料加工
激光剥离
脉冲激光沉积技术