CIONE系列Mini 等离子反应离子刻蚀机
四探针面扫描电阻率 CDE resmap 178
进口四探针电阻率测试仪(4PP)/方块电阻测试仪 280SI
NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统
MC-LMBE / PAC-LMBE 激光分子束外延系统
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PEALD 原子层沉积系统
NLD-3500 (A) ,全自动原子层沉积系统
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