日本Microphase 分子束外延系统
美国 那诺-马斯特 NRE-3500 (A) 全自动RIE反应离子刻蚀机
美国蚀刻和剥离系统 CESx124
德国分子束外延 Laser MBE
实验室专用原子层沉积设备 Savannah100,200,300
CIONE系列Mini 等离子反应离子刻蚀机
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